Initiation aux technologies de microfabrication
Stage court
Public visé
Techniciens, ingénieurs et commerciaux en lien avec des utilisateurs de salle blanche
Durée
2 jours (14 h)
Lieu
Noisy-le-Grand (93)
Tarif
2 125 €
Objectifs pédagogiques
- Connaître l’environnement salle blanche et les facilités techniques nécessaires à son fonctionnement
- Identifier les principaux procédés de microfabrication pour la fabrication de micro-dispositifs
- Savoir utiliser les équipements pour la mise en oeuvre pratique de ces procédés
- Apporter une vision globale des procédés technologiques pour une appropriation efficace de l’environnement professionnel
Programme
Introduction générale à l’environnement salle blanche
> Les spécificités de l’environnement salle blanche
> Les différentes classes de salle blanche
> Procédure d’habillage, équipements de protection individuels et sécurité
> Les facilités techniques pour le maintien de l’environnement salle blanche (avec visite) : centrales de traitement de l’air et de l’eau, retraitement des effluents liquides et gazeux
Technologies de microfabrication en salle blanche
> Définitions, éléments théoriques
> Travaux pratiques et démonstrations en salle blanche des procédés de microfabrication suivants :
. Dépôt de couche mince par pulvérisation cathodique
. Photolithographie, simple face et avec alignement
. Gravure ionique réactive (RIE),
. Mesures d’épaisseur par profilométrie
. Découpe
Au coeur d’un campus dynamique avec des équipements d’excellence, accès facile et rapide depuis Paris centre
Une équipe avec plus de 30 ans d’expérience et d’innovation dans le domaine des microsystèmes pour le monde industriel et académique
Mise en pratique au coeur de la formation (~70%)
650 m² d’installations modernes en classes ISO 5 et ISO 7, ouvertes en 2017
Accueil café et déjeuner en salon privé inclus